電子行業(yè)水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)
發(fā)布時(shí)間:2018-09-11
中國(guó)電子行業(yè)超純水國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
指 標(biāo) 名 稱
一 級(jí) 水(EW-1)
二 級(jí) 水(EW-2)
電阻率MΩ.CM. (25℃)
18(95‰時(shí)間)不低于17
15(95‰時(shí)間)不低于13
硅 ≤μg/L
2
10
>1μm 微粒數(shù)
0.1
5
細(xì)菌個(gè)數(shù) ≤個(gè)/ml
0.01
0.1
銅 ≤μg/L
0.2
1
鋅 ≤μg/L
0.2
1
鎳 ≤μg/L
0.1
1
鈉 ≤μg/L
0.5
2
鉀 ≤μg/L
0.5
2
氯 ≤μg/L
1
1
硝酸根 ≤μg/L
1
1
磷酸根 ≤μg/L
1
1
硫酸根 ≤μg/L
1
1
總有機(jī)碳 ≤μg/L
20
100